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第291章 中微与南大光电联合实验室正式揭牌（第1页）

一个月后，中微与南大光电联合实验室正式揭牌。这是星城半导体创新中心成立后的第一个重大项目，李一凡特意参加了揭牌仪式。

“这个实验室的使命很明确。”李一凡在讲话中说，“就是要通过光刻机和光刻胶的良好创新，在28nm制程上实现技术突破。这不仅关系到企业的发展，更关系到整个产业链的自主可控。”

威廉姆斯博士和王立新作为联合实验室的双主任，详细介绍了目前的研发进展。

“光学系统已经完成初步设计。”威廉姆斯调出了一组数据，“在分辨率、精度等关键指标上都达到了28nm制程的基本要求。现在的难点是稳定性，这需要配合光刻胶的特性进行优化。”

“我们也取得了重要进展。”王立新说，“最新研发的光刻胶在几个关键指标上都突破了：感光度提升了30%，线宽均匀性控制在2nm以内，这些都是达到28nm制程要求的基础。”

领导陈启明问道：“两个团队怎么配合？”

“我们采用双组长制。”威廉姆斯解释说，“每一个课题都由光刻机和光刻胶团队的专家共同负责。比如在光学系统优化时，光刻胶团队就提供了很多关键参数，帮助我们调整光路设计。”

“反过来也是。”王立新补充道，“光刻机团队的光强分配数据，指导我们优化光刻胶配方。这种良好的创新模式效果很好。”

李一凡对这种合作方式很满意。他清楚地记得以前世界上很多企业各自为战，导致技术创新效率低下。现在有了省里500亿的支持，正好可以推动产业和谐。

“人才团队组建得怎么样？”他问道。

“目前联合实验室有120人。”威廉姆斯说，“其中博士32人，包括5位海归专家。但在某些关键岗位还存在缺口，比如光学系统设计、材料界面控制等领域的高端人才。”

市委组织部长何国庆立即表态：“人才引进要特事特办。对急需的专家，可以启动‘一事一议’。待遇政策对比，关键是解决他们的后顾之忧。”

“已经在行动了。”市人社局局长杨国强说，“我们在硅谷、东京等地设立了招才引智工作站。目前正在和几位顶尖专家接洽，其中包括三名日本光刻机领域的资深工程师。”

“人才建设也要跟上。”市住建局局长汇报，“专家公寓一期工程年底交付，可提供200套高品质保障。国际学校持续加紧建设，明年秋季能如期开学。”

这个时候中微公司的技术团队传来了一个好消息：光学系统的核心部件已经加工，性能测试达到预期。这意味着28nm光刻机的工程样机有望提前完成。

“具体什么时候能出工程机？”李一凡问道。

“按照目前的进度，明年一季度末就能完成。”威廉姆斯说，“比原计划提前了三个月。这主要得益于光刻胶团队的配合，他们提供的测试数据帮助我们节省了大量调试时间。”

“工程机提前完成是个好消息，”王立新说，“我们的光刻胶轮转速也加快了。目前对28nm制程的光刻胶已经进行了第三次优化，核心指标非常稳定。”

“详细讲述优化的结果。”李一凡对这些技术细节很感兴趣。

“最大的突破在三个方面。”王立新打开实验数据，“首先是感光性能，能量曝光降低了25%，这对提升光刻机的工作效率很关键。其次是均衡性，偏差控制在1.8nm以内，最后这直接影响良率。是储存稳定性，在常温下可以保存3个月不变质。”

“储存性能很重要。”威廉姆斯点头说道，“这意味着我们的产品可以批量供应给客户，而不必担心运输和存储问题。在日本企业的光刻胶中，能达到这个水平的也不少。”

市科技局局长刘青松问道：“这些技术有自主知识产权吗？”

“当然。”王立新说，“我们已经申请了12项核心专利，其中4项是和中微的联合专利。这些专利完全覆盖了28nm制程中的关键技术点。”

李一凡对这种合作模式很满意：“这就是我们想要的和谐创新。不是简单的下游满足，而是在核心技术上形成合力。省里给我们500亿投资，就是要支持这样的创新模式。”

正说完成时，南大光电的中试车间传来消息：第一批批量产型光刻胶样品制备，各项指标全部达标。这批样品将用于中微光刻机的工程验证。

“产能建设也要提速了。”王立新说，“我们产业园的一期工程明年3月就能完成。设计产能是月产5吨，完全能满足前期的市场需求。”

“上游材料供应有保障吗？”市经信局局长张志强询问。

“这是我要汇报的。”王立新说，“我们已经和几家本土的材料企业达成了合作。电子级偶联剂、光敏剂、偶联液等关键原材料全部自主供应。这对保证产业链安全很重要。”

“产业布局要同步化。”李一凡说，“前安集科技、容大几天感光都来了，voc向在星城布局。材料领域的龙头企业扎堆，对我们很有利。”

“已经在谈了。”市投资促进局局长高制鹏说，“目前已有15家企业签约入驻意向，总投资超过80亿元。我们在产业园专门规划了材料产业区，重点引进这些项目。”

“人才团队还要继续补充。”威廉姆斯说，“特别是随着工程机的进步，我们需要更多工艺优化和系统集成的专家。这在全球范围内都是稀缺资源。”

市人社局迅速回应：“已经制定了新一轮人才引进计划。对顶尖人才的年薪可以突破千万，还有可能受到刺激。目前已经有日本光机专家准备签约，他们在工艺优化方面经验特别丰富。”

散会后，李一凡独自在办公室思考。作为重生者，他清楚地知道半导体产业的发展规律：一步一个脚印，既踩创新的勇气，又踩稳扎稳打的耐心。

“老公，”林允儿打来电话，“今天去联合实验室采访，感觉他们的创新动力特别好。要不要做个系列报道，重点介绍这种良好的创新模式？”

“可以，不过要把握好尺度。”李一凡说，“现在是关键阶段，有些技术细节暂时不要对外公开。重点报道团队协作和创新精神，让更多人了解我们在技术自主创新方面的决策。”

夜已深，但联合实验室的灯光依然明亮。两个团队的工程师们正在进行新的红外线的工艺测试。李一凡望着这幅场景，心中充满信心：只要坚持不懈的创新之路，国产28nm光刻机和光刻胶的突破日可待。

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